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一种简单的辉光放电等离子体诊断方法
文献类型：会议
作者单位：中南民族大学等离子体研究所
会议文献：第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集
会议名称：第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
会议日期：20090720
会议地点：中国辽宁大连
主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会
出版日期：20090720
学会名称：中国力学学会
语 种：中文
摘 要：了解低气压气体放电等离子体的微观参数,如电子温度T_e(下标e表示电子的量,g表示气体的量,i表示离子的量)和电子密度N_e,对等离子体材料制备、改性的作用机理的理解和工艺控制是很重要的。常用光学、R.F.探针、磁探针和静电探针等方法来诊断等离子体,得到T_e和N_e。而这些方法对仪器、条件要求高,数据处理较繁。
关 键 词：辉光放电 等离子体 诊断方法
分 类 号：O461.21[物理学类] O536[物理学类]
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