会议论文详细信息
射频等离子体FC薄膜沉积实验研究
文献类型：会议
作者单位：大连民族学院光电子技术研究所
会议文献：第十三届全国等离子体科学技术会议论文集
会议名称：第十三届全国等离子体科学技术会议
会议日期：20070820
会议地点：中国四川成都
主办单位：中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国核学会核聚变与等离子体物理学会、中国物理学会等离子体分会
出版日期：20070820
学会名称：中国力学学会
语 种：中文
摘 要：分别利用连续波和脉冲13.56M射频等离子体,以C_4F_8,C_3F_8,C_2F_6,CF_4,CH_2F_2等气体为反应气体,进行不同射频功率,不同载气比例等实验条件下的FC薄膜沉积实验,利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,开展低表面粗糙度的FC薄膜沉积实验研究。
分 类 号：O484[物理学类]
参考文献：
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二级参考文献：
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耦合文献：
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引证文献：
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二级引证文献：
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同被引文献：
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