文献类型：期刊文章

作　　者：李健[1] 白素杰[1] 通拉嘎[1]

机构地区：[1]内蒙古大学理工学院物理系,内蒙古呼和浩特010021

出　　处：《传感器技术》

基　　金：内蒙古自然科学基金资助项目(20028020209)

年　　份：2004

卷　　号：23

期　　号：5

起止页码：9-11

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性,实验给出,经温度为500℃,时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大,薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经掺Nd(质量分数为4.96×10-2)后纳米ZnO薄膜对乙醇气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善。在1.5×10-3体积分数的乙醇气体中最高灵敏度为34,相应的薄膜工作温度为200℃。

关 键 词：真空气相沉积  稀土Nd掺杂  ZNO薄膜 气敏特性 气体传感器

分 类 号：TN304] TP212]