文献类型：期刊文章

作　　者：高世桥[1] 曲大成[2]

机构地区：[1]北京理工大学机电工程学院 [2]北京理工大学机电工程学院信息科学技术学院,博士北京100081

出　　处：《科技导报》

年　　份：2004

卷　　号：22

期　　号：4

起止页码：17-21

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RWSKHX、UPD、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：微机电系统是源于微电子加工技术 ,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小 ,学科交叉广泛 ;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面 ;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域 ,在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器 ,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。

关 键 词：微机电系统 MEMS 微机械加工 智能控制

分 类 号：TH703[仪器类]