期刊文章详细信息
微机械(MEMS)与微细加工技术
The new development of MEMS and micro-machining
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学机械与动力工程学院,上海030020 [2]河北理工学院机械工程系,河北唐山063009
年 份：2004
卷 号：26
期 号：2
起止页码：34-40
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平。指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势。
关 键 词：微机械 微细加工 MEMS 超精密机械加工 电子柬刻蚀 微细电火花加工 微细超声加工
分 类 号：TH161]
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