期刊文章详细信息
等离子体过程诊断与应用
Diagnosis and Application of Plasma
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]保定师范专科学校物理系,河北保定071051
年 份：2004
卷 号：17
期 号：2
起止页码：21-24
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：等离子体作为物质第四态,在宇宙中普遍存在.等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境,与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要.
关 键 词：等离子体 过程诊断 电子温度 电子密度
分 类 号：O539]
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