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用PCVD制备的SnO_2导电薄膜及其对NO_X的气敏特性
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华中理工大学物理系,武汉430074 [2]中国高等科学技术中心(世界实验室),北京100080
基 金：国家自然科学基金
年 份：1992
卷 号：12
期 号：3
起止页码：46-49
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：本文利用PCVD方法制得了SnO_2导电薄膜,分析了其电学性能与沉积参数的关系,同时测得该膜具有负温阻特性,这种薄膜是n型半导体膜。在不同温度和不同NOx气体浓度下,对该膜进行了NOx气敏特性的测试。发现在常温下,SnO_2薄膜对NOx,具有较高的灵敏度,响应时间快的特性。
关 键 词：PCVD 二氧化锌薄膜 薄膜 氧化氮 气敏特性
分 类 号：TN389] O484.4]
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