期刊文章详细信息
用电子显微镜剖析存储器器件
Application of electron microscopy in analyzing memory device
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学材料科学系国家微分析中心,上海200433
年 份：2004
卷 号：29
期 号：5
起止页码：68-71
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
关 键 词：电子显微镜 存储器 透射电镜 栅氧化层 集成电路 IC微结构
分 类 号：TP333]
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