期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]大连理工大学微系统研究中心,大连116024
基 金:~~
年 份:2004
卷 号:10
期 号:1
起止页码:1-8
语 种:中文
收录情况:CSCD、CSCD_E2011_2012、普通刊
关 键 词:微型夹钳 微装配 微机电系统 微系统技术 结构材料 制作工艺 工作原理
分 类 号:TG93] TH-39[机械类]
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...