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期刊文章详细信息

飞秒激光在材料微加工中的应用    

Progress of femtosecond laser micromachining

  

文献类型:期刊文章

作  者:贾威[1] 王清月[1] 傅星[1] 胡小唐[1]

机构地区:[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室

出  处:《量子电子学报》

基  金:教育部科学技术研究重大项目(光通信系统中的微型光电器件的研究)资助

年  份:2004

卷  号:21

期  号:2

起止页码:194-201

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、RSC、ZGKJHX、核心刊

摘  要:本文介绍了飞秒激光的特性以及超短脉冲激光与材料相互作用的机理,并着重指出了其与长脉冲激光的区别。飞秒激光可产生超高光强、具有精确的损伤阈值(并且损伤阈值较低较低)、很小的热影响区、几乎可精密加工所有种类材料,并且,加工精度极高,可进行亚微米尺寸的精密加工。通过分析飞秒激光材料微加工的特性,综述超短脉冲激光材料微加工的应用研究现状。

关 键 词:飞秒激光 损伤阈值 激光微加工 多光子吸收 光子晶体

分 类 号:TN24]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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