文献类型：期刊文章

作　　者：张蓉竹[1] 石琪凯[2] 蔡邦维[1] 许乔[2]

机构地区：[1]四川大学电子信息学院光电系,四川成都610064 [2]成都精密光学工程研究中心,四川成都610041

出　　处：《光学技术》

年　　份：2004

卷　　号：30

期　　号：2

起止页码：173-175

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004298268793)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法。该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测。建立了拼接检测计算的模型。利用最小二乘法计算得到拼接参数,从而恢复大口径光学元件的全孔径波前相位分布。在理论分析的基础上设计了一套检测装置,对该装置的稳定性进行了实验研究。进行了两口径拼接检测的实验。拼接结果与全孔径检测结果进行了比较。结果表明,该检测方案能够满足大口径光学元件的检测要求。

关 键 词：大口径光学元件 子孔径拼接 计算模型  ICF系统  相移干涉仪  

分 类 号：TL632] O436.1]