文献类型：期刊文章

作　　者：张进城[1] 郝跃[1] 李培咸[1] 范隆[1] 冯倩[1]

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子研究所,西安710071

出　　处：《物理学报》

基　　金：国防预研项目 (批准号 :4 1 50 1 0 70 1 );国家重点基础研究发展规划(批准号 :2 0 0 2CB31 1 9)资助的课题~~

年　　份：2004

卷　　号：53

期　　号：4

起止页码：1243-1246

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004398378905)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000220534100049)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析 ,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响 ,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法 .实际应用表明 。

关 键 词：透射谱 氮化镓薄膜 厚度测量 干涉效应  折射率 半导体材料

分 类 号：O4-34[物理学类]