文献类型：期刊文章

作　　者：刘伟[1] 张景和[2]

机构地区：[1]长春光学精密机械与物理研究所长春光机医疗仪器有限公司,吉林长春130021 [2]哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《哈尔滨工业大学学报》

基　　金：中国科学院重大设备改造项目.

年　　份：2004

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：310-312

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004258227679)、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：在激光直接写入设备中需要有高分辨力的调焦伺服机构对光刻物镜进行调焦伺服.采用压电陶瓷作为驱动元件、3个柔性铰链组合结构作为导向及执行元件,研制出了一种用于激光直接写入设备的调焦伺服机构.该调焦伺服机构的分辨力为10 nm,行程为10 μm,导向精度为1.37”.是适合纳米定位的理想调焦伺服机构.

关 键 词：激光直接写入设备  纳米分辨力  调焦伺服机构  光刻物镜 二元光学元件

分 类 号：TN24] TN253