期刊文章详细信息
多孔硅传感器的研究进展 ( EI收录)
Progress in Porous Silicon Sensors
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]湖南大学光电子材料研究所,长沙410082
基 金：湖南省自然科学基金(98JJY2047);湖南大学科学基金(重点)(2002A08)
年 份：2004
卷 号：18
期 号：3
起止页码：35-37
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、ZGKJHX、普通刊
摘 要：综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展。
关 键 词：多孔硅传感器 制备方法 敏感特性 电导率 介电常数
分 类 号：TP212]
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