文献类型：期刊文章

作　　者：许忠保[1] 叶虎年[1] 叶梅[1] 宋建萍[2]

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074 [2]十堰职业技术学院计算机系,湖北十堰442000

出　　处：《华中科技大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10 176 0 10 ;30 170 2 76 )

年　　份：2004

卷　　号：32

期　　号：2

起止页码：64-66

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：改进了用于定量测量样品表面微观形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差ΔΦ进行了精确的计算和校正 ,系统不需要参考表面和机械扫描机构 ,能有效地抑制机械振动等外界环境干扰对测量结果的影响 .并通过建立相应的数学模型推导了系统的点扩展函数 .最后用维纳滤波算法恢复了图像 。

关 键 词：表面微观形貌 微分相衬  点扩展函数 维纳滤波

分 类 号：TP246]