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脉冲激光辐照硅材料引起表面波纹的特性研究 ( EI收录)
Study of the Characteristics of the Surface Ripple on Si Material Irradiated by Pulsed Laser
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国工程物理研究院流体物理研究所,绵阳621900 [2]华南师范大学量子电子学研究所,广州100008
基 金:国家"八六三"激光技术领域;中国工程物理研究院基金资助课题
年 份:2004
卷 号:24
期 号:2
起止页码:239-242
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2004238201940)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:叙述了激光与材料相互作用过程中引起相干受激光散射的机制 ,以及形成材料表面波纹的特性。在激光波长 1.0 6 μm、能量 15mJ、光斑直径 2mm、脉冲半峰全宽约 10ns和入射方向为布儒斯特角的条件下 ,进行了脉冲激光辐照硅材料形成表面波纹的实验研究。在脉冲激光辐照硅材料表面功率密度略大于材料损伤阈值的条件下 ,发现了硅材料表面形成的平行等间距直线条纹结构。用光学显微镜和原子力显微镜分别测量了被辐照硅材料表面的波纹形貌特征。在假设硅材料表面波纹的产生与声波在材料中的传播速度有关的条件下 ,由声波传播速度和激光辐照硅材料的脉冲宽度较好地解释了材料表面形成条纹的宽度 ,并认为在形成表面波纹的过程中 ,热应力起主要作用。
关 键 词:脉冲激光辐照 硅材料 表面波纹 相干受激光散射 损伤阈值 压电效应 原子力显微镜 光学显微镜 脉冲宽度
分 类 号:TN204] TN249
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