期刊文章详细信息
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
MEMS Technology and Developing Trend
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华南理工大学机电工程系,广州510640
年 份：2004
卷 号：20
期 号：1
起止页码：10-12
语 种：中文
收录情况：CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
关 键 词：微机电系统 MEMS 微机械加工 微传感器 微执行器 发展趋势
分 类 号：TH-39[机械类]
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