文献类型：期刊文章

作　　者：李应良[1] 潘武[1]

机构地区：[1]重庆邮电学院微光机电系统研究所,重庆400065

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：重庆市教委科学技术研究项目(No.D2002 26);重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002 36)

年　　份：2004

卷　　号：12

期　　号：1

起止页码：47-54

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望。

关 键 词：射频系统 MEMS 谐振器 滤波器 微电机械系统

分 类 号：TN752] TN713