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扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用
The Application of Scanning Probe Microscope (SPM) in Observing and Determining in the Roughness,Nano-scaled Size and Surface Topography
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国上海测试中心,上海200233
年 份：2003
卷 号：20
期 号：2
起止页码：9-12
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征表面形貌观测方面最重大的进展之一 ,是纳米测量学的基本工具 ,本文叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法 ,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能 ,着重介绍了扫描探针显微镜在这方面的应用和存在的问题。
关 键 词：扫描探针显微镜(SPM) 粗糙度 表面形貌 纳米尺寸
分 类 号：TH742]
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