文献类型：期刊文章

作　　者：钟志有[1] 康淮[1] 陆轴[1] 龙浩[1] 王皓宁[1]

机构地区：[1]中南民族大学电子信息工程学院智能无线通信湖北省重点实验室,武汉430074

出　　处：《中南民族大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11504436;11704418);湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB364);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZP17002;CZW14019)

年　　份：2017

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：61-67

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、IC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以掺杂氧化锌(ZnO)陶瓷靶为溅射源材料,采用射频磁控溅射技术在石英玻璃衬底上制备了掺杂ZnO系列半导体薄膜样品.利用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱,通过Swanepoel法确定了薄膜的折射率和消光系数,利用外推法获得了薄膜的光学带隙,研究了不同掺杂对ZnO薄膜光学性能的影响.结果表明,钛掺杂和镓镁合掺后,ZnO薄膜的透过率和光学带隙增加而折射率减小;所有薄膜的折射率均随波长增加而单调减小,呈现出正常的色散特性.

关 键 词：掺杂氧化锌  半导体薄膜 光学性能

分 类 号：TN304.21]