期刊文章详细信息
半导体晶圆制造中产量与生产周期的优化方法
Methods of optimization for throughput and cycle time in semiconductor wafer fabrication
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心,上海200093
年 份：2004
卷 号：29
期 号：2
起止页码：41-45
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：在晶圆制造厂中,有时为了提高设备利用率而盲目地增加投料/产出速率,造成生产周期时间增长,在制品增多。本文建立效用函数和多目标决策对其进行优化选择,并且阐述了在晶圆制造厂实际生产中,经济原则对周期时间的影响。
关 键 词：半导体 晶圆制造 产量 生产周期 优化方法 投料/产出速率 效用函数 多H标决策
分 类 号：TN305]
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