期刊文章详细信息
氧化锌薄膜研究的新进展 ( EI收录)
Development and Applications of Zinc Oxide Thin Film
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京科技大学材料工程学院,北京100083 [2]郑州大学高温材料研究所,郑州450052
基 金：河南省科技攻关项目资助(编号:0124120203)
年 份：2003
卷 号：17
期 号：F09
起止页码：207-209
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、ZGKJHX、普通刊
摘 要：ZnO薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料。ZnO薄膜的制备方法多样,薄膜的性质取决于不同的掺杂组分,并与制备工艺紧密相关。简述了ZnO薄膜的制备方法与基本性质与应用,分析了ZnO薄膜研究、应用与开发现状,展望了产业化发展前景。
关 键 词：氧化锌薄膜 制备方法 压电性 透明导电性 光电性 气敏性 压敏性 晶格结构 半导体
分 类 号：TN304.21]
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