期刊文章详细信息
冷等离子体表面改性设备的研制
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中央民族学院物理系,北京100081
基 金：国家自然科学基金资助项目.
年 份：1992
卷 号：21
期 号：10
起止页码：614-618
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1992、CAS、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．
关 键 词：冷等离子体 表面变性 设备
分 类 号：O539]
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