期刊文章详细信息
激光制备类金刚石薄膜过程的影响因素
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]牡丹江师范学院物理系,牡丹江157011 [2]牡丹江大学电教中心,牡丹江157011
年 份：2003
卷 号：29
期 号：4
起止页码：17-19
语 种：中文
收录情况：JST、普通刊
摘 要：类金刚石膜是一种碳膜,主要由sp2和sp3键构成,在空间结构上是长程无序的.由于含有一定数量的sp3键,类金刚石膜具有一系列接近于金刚石的优异性能,如很高的硬度和很小的摩擦系数、良好的化学稳定性、抗腐蚀能力、较高的电阻率、电绝缘强度、红外和微波频段的透过性、高的光学折射率.
关 键 词：激光 制备 类金刚石薄膜 波长 功率密度 等离子体技术 环境气氛
分 类 号：TN304.055] TN24
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