期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院上海技术物理研究所,上海200083 [2]复旦大学微电子系,上海200433
年 份:2003
卷 号:22
期 号:4
起止页码:277-280
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI(收录号:2004098043628)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号:WOS:000185046000009)、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000185046000009)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:利用表面微机械加工技术 ,研制出微桥结构红外微辐射元 .该辐射元是电阻阵列动态红外景象产生器的基本组成单元 .辐射元可以产生等效黑体辐射温度为 30 0~ 5 0 0K的红外辐射 ,能够满足中波、长波红外半实物仿真的需求 .
关 键 词:红外微辐射元 电阻阵列 动态红外景象产生器 等效黑体辐射温度 红外辐射 表面机械加工技术
分 类 号:TN212]
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