文献类型：期刊文章

作　　者：姚骏恩[1] 余建业[1] 黄同节[1] 张肇华[1] 姚文浩[1] 李文恩[1] 韩大年[1] 谢信能[1]

机构地区：[1]中国科学院科学仪器厂

出　　处：《仪器仪表学报》

年　　份：1981

卷　　号：2

期　　号：2

起止页码：18-24

语　　种：中文

收录情况：CAS、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B^5(Be^4)～U^(92);波长分辨率△λ/λ为1～5×10^(-3)(Na^(11)～U^(92))及1～5×10^(-2)(B^5～F^9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na^(11)～U^(92)为10^(-3)％量级,B^5～F^9为10^(-2)％量级。

关 键 词：分光光谱仪  X射线 扫描电子显微镜 波长分辨  波长重复性  光学显微镜 重复精度  罗兰圆  微区分析 电子探针

分 类 号：TN1]