文献类型：期刊文章

作　　者：卢睿[1] 李林瑛[2]

机构地区：[1]辽宁警官高等专科学校公安信息系,大连市116036 [2]大连外国语大学软件学院,大连市116044

出　　处：《系统仿真学报》

基　　金：辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2014141)

年　　份：2014

卷　　号：26

期　　号：8

起止页码：1775-1780

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并提出通过减少并行模块数目、选择合适的加工时间和滞留时间的控制策略,使不可调度方案变的可调度。对模型和可调度性条件进行了仿真实验和工程软件实现,证明了提出的模型和控制策略有助于减少测试晶圆数目,从而提高晶圆生产效率。

关 键 词：半导体制造 集束型装备 双臂机械手  可调度性分析 线性规划模型

分 类 号：TP241] TP278]