期刊文章详细信息
扫描电子显微镜
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学材料科学系国家微分析中心
年 份：2003
卷 号：30
期 号：6
起止页码：37-39
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
关 键 词：扫描电子显微镜 二次电子 特征x射线 背散射电子
分 类 号：TH742]
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