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射频磁控溅射TiO_2/HA复合生物膜的制备与表征 ( EI收录)
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TiO_2/HA BIO-COMPOSITE FILM BY RF MAGNETRON SPUTTERING
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]天津大学材料学院,天津300072 [2]天津理工学院材料系,天津300191
基 金:天津市自然科学基金项目(023615311);天津市高等学校科技发展基金项目(01-20215)
年 份:2003
卷 号:20
期 号:6
起止页码:52-56
语 种:中文
收录情况:AJ、AMR、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要: 将水热合成的羟基磷灰石(HA)粉与20wt%Ti粉混合,冷压烧结成靶材。采用射频磁控溅射方法,在工业纯钛基体上沉积TiO2/HA生物薄膜,通过扫描电镜(SEM)及其能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)和差热分析仪(TDA)对膜层进行了表征,探讨了溅射膜的晶化工艺。结果表明:由于选择溅射和OH-损失,溅射膜由TiO2晶体颗粒和非晶钙磷化合物组成,且其Ca/P比降低。经700℃,0.5h水蒸气处理,非晶钙磷化合物结晶度大大提高,并部分转化为HA晶体,且处理后的溅射膜与基体间无裂纹。
关 键 词:射频磁控溅射 TiO2/HA复合薄膜 非晶钙磷化合物 晶化 水蒸气处理
分 类 号:TB332[材料类]
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