文献类型：期刊文章

作　　者：张改玲[1] 滑跃[1] 郝泽宇[1] 任春生[1]

Zhang Gai-Ling;Hua Yue;Hao Ze-Yu;Ren Chun-Sheng(Key Laboratory of Materials Modification by Laser,Ion and Electron Beams,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China)

机构地区：[1]大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室,大连116024

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金(批准号:11475038)资助的课题~~

年　　份：2019

卷　　号：68

期　　号：10

起止页码：186-195

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56 MHz和2 MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低频放电中,输入功率的增加对等离子体参数产生了不同的影响,高频放电中主要提升了电子密度,低频放电中则主要提升了电子温度.固定气压为10 Pa,分别由高频和低频驱动时,电子密度的径向分布均为"凸型".而电子温度的分布差异比较明显,高频驱动时,电子温度在腔室中心较为平坦,在边缘略有上升;低频驱动时,电子温度随径向距离的增加而逐渐下降.为了进一步分析造成这种差异的原因,在相同放电条件下采集了氩等离子体的发射光谱图,利用分支比法计算了亚稳态粒子的数密度,发现电子温度的径向分布始终与亚稳态粒子的径向分布相反.继续升高气压到100 Pa,发现不论高频还是低频放电,电子密度的径向分布均从"凸型"转变为"马鞍形",较低气压时电子密度的均匀性有了一定的提升,但低频的均匀性更好.

关 键 词：感性耦合等离子体  Langmuir双探针  发射光谱 等离子体参数

分 类 号：O53]