期刊文章详细信息
基于激光准直直线度测量方法的研究
Study on straightness measurement method based on laser collimation
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京交通大学理学院,北京100044
年 份：2003
卷 号：29
期 号：6
起止页码：699-701
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了用半导体激光器、单模光纤准直激光束作为测量基准轴线,四象限光电器件作为位置传感器,并由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度准直仪。通过稳定性实验、重复特性实验和双频干涉仪比对实验,验证了本直线度测量系统的可行性。实验结果表明,测量系统实现的测量精度为(1.0+2×L)μm(L为准直距离,单位为m),测量范围为10m。
关 键 词：直线度测量 激光准直 四象限光电探测器 单模光纤 半导体激光器
分 类 号：TG8] TN24]
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