期刊文章详细信息
薄膜制备新技术及其应用研究
Novel Thin Films Preparation Technology and Its Application
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]武汉化工学院材料科学与工程学院,湖北武汉430073 [2]武汉理工大学材料科学与工程学院,湖北武汉430070
年 份：2003
卷 号：16
期 号：5
起止页码：65-70
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要： 综述了近几年国内外在薄膜制备技术方面的研究进展,着重比较了蒸发沉积、溅射沉积、激光沉积、CVD、MBE和Sol Gel等技术的优缺点,分析了这些技术在薄膜制备中应用前景。
关 键 词：薄膜 制备技术 研究进展
分 类 号：O484]
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