文献类型：期刊文章

作　　者：彭鸿雁[1] 金曾孙[1] 李俊杰[1] 申辉[2] 赵立新[2] 申家镜[2]

机构地区：[1]吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春130023 [2]黑龙江省光电技术研究所,牡丹江157000

出　　处：《高等学校化学学报》

基　　金：国家"八六三"新材料领域 Z3 8-0 2项目 (批准号 :2 0 0 2 A A3 2 5 0 90 )资助

年　　份：2003

卷　　号：24

期　　号：11

起止页码：2048-2050

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用高功率和高频率准分子激光器在高真空及 H2 和 N2 气氛下沉积类金刚石膜 .利用 Raman光谱和电子衍射方法分析了膜的微结构 . Raman光谱呈典型 DLC膜的特征 ,G峰位于 1 5 2 8cm-1,D峰位于1 3 2 7cm-1,为一大的肩峰 ,电子衍射图象呈多晶电子衍射特征 ,可观察到 5个同心圆环 ,由此计算出的面间距与金刚石 ( 1 1 1 ) ,( 2 0 0 ) ,( 2 2 0 ) ,( 3 3 1 )和 ( 3 3 2 )面间距相符 .红外吸收光谱测量结果表明 ,在 Ge片上单面镀类金刚石膜具有明显的红外增透效果 ,在 1 0 0 0～ 3 0 0 0 cm-1范围内红外透过率达到 5 5 %以上 .用原子力显微镜和 SEM观察了表面形貌 ,用显微硬度计和显微划痕仪测试了膜的硬度与附着力 .

关 键 词：准分子激光器 类金刚石膜 结构特性 制备  电子衍射方法  

分 类 号：O613.71] O484[化学类]