期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]上海大学材料研究所 [2]东北大学物理系,辽宁沈阳110006 [3]辽宁沈阳金属腐蚀与防护国家重点实验室,辽宁沈阳110015
基 金:国家自然科学基金!(5 97710 6 6 )资助项目
年 份:2001
卷 号:13
期 号:2
起止页码:228-232
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:采用微波同轴耦合氧气放电产生高密度氧等离子体 ,经磁场约束后与一施加负偏压的金属板碰撞复合并反射 ,得到通量在 1 0 1 3~ 1 0 1 6 atoms·cm- 2·s- 1范围可控、动能约为 6~ 1 0 e V的中性氧原子束流。用双探针技术对生成的氧等离子体进行了诊断测量。
关 键 词:原子氧束流 高通量 氧等离子体 复合 磁约束
分 类 号:TL501.5]
参考文献:
正在载入数据...
二级参考文献:
正在载入数据...
耦合文献:
正在载入数据...
引证文献:
正在载入数据...
二级引证文献:
正在载入数据...
同被引文献:
正在载入数据...