期刊文章详细信息
基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制
Fabrication of 3D Image Laser Printing System with SLM
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]苏州大学信息光学工程研究所,江苏苏州215006
基 金：教育部跨世纪人才基金的支持
年 份：2003
卷 号：33
期 号：5
起止页码：367-370
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D图像或光学可变图像的制作,研制了大幅面3D图像激光光刻系统,光变图像分辨率可达5080dpi,平均运行效率达8000dots/s(1270pdpi)以上。给出了实验结果。
关 键 词：3D图像 干涉 光学头 空间光调制器 SLM 三维图像 激光光刻 激光全息照相
分 类 号：O438.1]
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