文献类型：期刊文章

作　　者：黄建军[1,2] 吕宽洲[3] 刘正之[4]

机构地区：[1]深圳大学理学院应用物理系 [2]中国科学院等离子体物理研究所 安徽 合肥 230031 [3]郑州经济管理干部学院 [4]中国科学院等离子体物理研究所

出　　处：《真空科学与技术》

基　　金：广东省自然科学基金资助项目(批准号:980922)

年　　份：2003

卷　　号：23

期　　号：5

起止页码：299-302

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：2004118060664)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过对射频激励激光器放电电压、电流以及相位的精确测量,基于射频放电等离子体等效电路,得出等离子体总电阻(包括等离子体总电阻和鞘层电阻分量),经非线性最小平方拟合分别得到等离子体电阻和鞘层电阻,进而定量地得到等离子体和鞘层功率消耗,鞘层电压以及鞘层厚度随放电电流变化的关系,借此可以诊断出射频放电处于α或γ放电。研究表明在中等气压氦气中随着气体压强的增加和电流的增加,气体的放电模式将从α放电为主转向γ放电为主。

关 键 词：射频放电 铜离子激光器  阻抗测量 功率消耗 鞘层

分 类 号：TL656] TL657