文献类型：期刊文章

作　　者：陈杨[1] 陈建清[1] 陈志刚[2]

机构地区：[1]江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江212013 [2]江苏工业学院,江苏常州213016

出　　处：《江苏大学学报（自然科学版）》

基　　金：江苏省自然科学基金资助项目(BK2002010)

年　　份：2003

卷　　号：24

期　　号：5

起止页码：55-59

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAB、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、EI、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、普通刊

摘　　要：超光滑表面抛光技术是超精密加工体系的一个重要组成部分,超光滑表面在国防和民用等领域都有着广泛的应用 文中介绍了超光滑表面的物理特征和应用,并根据抛光过程中工件与抛光盘之间的接触状态,将各种抛光方法分为直接接触、准接触和非接触3类,对每一种抛光方法作了总体的描述,详细地介绍了近年来发展的激光抛光技术和化学机械抛光技术及其超光滑表面抛光的加工机理。

关 键 词：抛光 超光滑表面 机理  评价  

分 类 号：TG356.28]