文献类型：期刊文章

作　　者：李新刚[1] 袁建平[1]

机构地区：[1]西北工业大学航天工程学院,西安710072

出　　处：《力学进展》

年　　份：2003

卷　　号：33

期　　号：3

起止页码：289-301

语　　种：中文

收录情况：AMR、BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点,其精度正不断得到提高,应用领域也随之不断扩大.本文首先简要介绍了微机械陀螺的定义及特征、性能指标、工作原理、分类以及加工技术,随后对己出现的不同类型微机械陀螺的结构、加工方式、工作原理以及性能进行了综述,最后对微机械陀螺的商业化现状以及发展趋势进行了展望。

关 键 词：微机械陀螺 发展现状  微电子机械系统 MEMS 结构特点 工作原理  加工方法  哥氏加速度 汽车

分 类 号：U463.6] O318]