文献类型：期刊文章

作　　者：霍鹏飞[1] 马炳和[1] 苑伟政[1]

机构地区：[1]西北工业大学微纳米系统实验室,陕西西安710072

出　　处：《航空学报》

基　　金：国家自然科学基金(50205022);863/MEMS重大专项基金(2003AA404017)资助项目

年　　份：2003

卷　　号：24

期　　号：5

起止页码：466-470

语　　种：中文

收录情况：AJ、AMR、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2004138090353)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具,Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明,采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较,微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1 0%;仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响,故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。

关 键 词：传感器技术 系统级设计 多端口组件网络 微加速度计 建模与仿真  

分 类 号：TH702[仪器类]