文献类型：期刊文章

作　　者：刘晨[1,2] 刘胜利[2,3] 王海云[2,3] 程杰[3] 李兴鳌[4]

机构地区：[1]南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210003 [2]南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123 [3]南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京210003 [4]南京邮电大学材料科学与工程学院,南京210003

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：江苏省自然科学基金青年基金(BK20130376;BK20130855);国家自然科学基金(51172110;11405089);江苏省高校自然科学研究(13KJB140012);苏州市科技局纳米技术专项基金(ZXG201444);江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目(2014-XCL-015);南邮校级科研项目(NY214131)

年　　份：2015

卷　　号：44

期　　号：11

起止页码：3019-3024

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20155301741867)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85%的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收。

关 键 词：CEO2 择优生长取向  超声喷雾热解  透过率

分 类 号：O484.1]