文献类型：期刊文章

作　　者：俞静[1] 钱省三[1]

机构地区：[1]上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心,上海200093

出　　处：《半导体技术》

年　　份：2003

卷　　号：28

期　　号：8

起止页码：11-14

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：由于市场对专用集成电路需求的猛增,大多数半导体企业都已采用面向订单的混合生产方式,其车间设施具有一定的柔性,能同时生产多种类型的晶圆;再加上CIM与价格昂贵、自动化程度极高的晶圆加工设备的广泛运用,引起了晶圆车间成本构成中直接人工费用大幅度减少和间接费用呈多样化巨增,因此晶圆制造车间已开始改变为从工程学、技术层面去把握成本信息,以工程经济学的方法对成本进行预测、监控,因为在晶圆制造车间中,成本绝非单纯是会计帐簿上的产物,而是在制造过程中的逐道工序中产生的。

关 键 词：半导体 晶圆车间  成本控制方法  工业工程 设备效率  

分 类 号：TN305.1]