期刊文章详细信息
微电子机械系统技术应用研究
Study on the Application of MEMS Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]常熟高等专科学校机电系,江苏常熟215500
年 份：2003
期 号：7
起止页码：6-9
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。
关 键 词：MEMS 微机械加工技术 关键技术 发展趋势
分 类 号：TH166]
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