期刊文章详细信息
二次离子质谱分析
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]复旦大学材料科学系国家微分析中心
年 份：2003
卷 号：30
期 号：3
起止页码：42-46
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：一、引言 二次离子质谱(SecondaryIon Mass Spectrometry)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段.通过一次离子溅射,SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次离子像.
关 键 词：固体材料 表面组分 杂质 二次离子质谱分析 SIMS 工作原理 深度剖析 二次离子像
分 类 号：TH843[仪器类]
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