期刊文章详细信息
激光干涉仪测量长度
Laser Interferometer for Length Measuring
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北建筑工程学院电气工程系 [2]天津大学精仪学院
年 份：2003
卷 号：21
期 号：2
起止页码：35-37
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：分析了激光干涉系统的原理,给出了长度测量的计算公式。基于我们研制的测长仪讨论了仪器的设计要点,介绍了一种典型应用——数控机床的精度检定.
关 键 词：激光干涉仪 长度测量 数控机床 双频激光干涉仪 量值传递
分 类 号：TG659]
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