文献类型：期刊文章

作　　者：马晓翠[1] 阎大卫[2] 肖智博[2]

机构地区：[1]深圳大学理学院材料系,广东深圳518060 [2]吉林大学电子工程学院,吉林长春130023

出　　处：《传感器技术》

基　　金：深圳市科技局资助项目(200012);深圳大学科研基金资助项目(9913)

年　　份：2003

卷　　号：22

期　　号：6

起止页码：4-7

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。

关 键 词：SnO2/Fe2O3薄膜  气敏特性 双层薄膜  气体传感器  溅射 表面修饰 氧化铁  氧化锡

分 类 号：TP212] TB383]