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热蒸镀法与溶胶-凝胶法制备的WO_3薄膜
WO_3 Thin Films Derived from Thermal Evaporation and Sol-gel
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郧阳师范高等专科学校物理系,湖北丹江口市442700
年 份：2003
卷 号：23
期 号：2
起止页码：89-91
语 种：中文
收录情况：CAS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用真空热蒸发沉积技术在衬底上沉积了 WO3 薄膜 ;以金属 W粉为无机原料 ,溶胶 -凝胶技术结合浸渍镀膜方法制备出 WO3 薄膜 ,借助 SEM、可见光分光光度计、椭偏仪等仪器测量了薄膜的特性。实验表明 :热处理使两种方法制得的薄膜致密 ,折射率增大 ,WO3 颗粒增大 ;在热处理条件相同的情况下 ,溶胶 -凝胶法制备的 WO3 薄膜折射率比热蒸镀法制备的 WO3
关 键 词：WO3薄膜 热蒸镀法 溶胶—凝胶法 热处理 折射率
分 类 号：TN304.055]
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