文献类型：期刊文章

作　　者：张德恒[1] 王卿璞[1] 薛忠营[1]

机构地区：[1]山东大学物理与微电子学院,济南250100

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :60 0 760 0 6);教育部博士点基金 (批准号 :2 0 0 0 0 42 2 0 4)资助的课题~~

年　　份：2003

卷　　号：52

期　　号：6

起止页码：1484-1487

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000183472500033)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000183472500033)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：用射频磁控溅射法在蓝宝石、硅和石英衬底上沉积出具有好的择优取向的多晶ZnO薄膜 .在 2 70nm波长的光激发下室温下可观察到显著的紫外光发射 (波长为 3 5 6nm)和较弱的蓝光发射 (波长为 44 6nm) .经高温退火后薄膜的结晶质量显著提高 ,在蓝宝石、石英衬底上沉积的薄膜 ,其积分发光强度分别增加了 7倍和 14倍 .而硅衬底上的膜发光强度增强不太显著 .紫外光发射源于电子的带间跃迁 。

关 键 词：ZNO薄膜 紫外光致发光  射频磁控溅射法 氧化锌薄膜 半导体材料 退火 发光强度

分 类 号：O484.41] TN304.21[物理学类]