文献类型：期刊文章

作　　者：徐凯[1] 潘石[1] 吴世法[1] 孙伟[1] 李银丽[1]

机构地区：[1]大连理工大学物理系,大连116024

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :60 0 0 70 11;30 2 70 367);国家科技部和中国分析测试协会仪器功能开发基金 (批准号 :GN 99 15 );教育部博士点基金 (批准号 :2 0 0 2 0 14 10 18)资助的课题~~

年　　份：2003

卷　　号：52

期　　号：5

起止页码：1190-1195

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000182833100029)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000182833100029)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：提出了原子力 光子扫描隧道显微镜 (AF PSTM)系统的关键部分———双功能弯曲光纤探针的制作方法 .采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF PSTM弯曲光纤探针 ,弯曲角度约为 15 0°,尖端曲率半径优于 10 0nm ,锥角范围为 60°— 90° .将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF PSTM系统上 ,同时获得了样品的光学与形貌图像 。

关 键 词：热拉伸  化学腐蚀 弯曲光纤探针  制备  原子力/光子扫描隧道显微镜  AF/PSTM系统  

分 类 号：TH742] TN253[仪器类]