期刊文章详细信息
Lagmuir探针电源的研究
The Research of Langmuir Probe Power Supply
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]大连松辽电子工业股份有限公司 [2]长春理工大学科技开发中心,吉林长春130022
年 份：2003
卷 号：26
期 号：1
起止页码：63-65
语 种：中文
收录情况：JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路。电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5％。
关 键 词：Lagmuir探针电源 积分转换 等离子体 微细加工
分 类 号：TG664]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
