期刊文章详细信息
LIGA相关技术及应用
Related technologies and applications of LIGA
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030 [2]西安电子科技大学微电子研究所,陕西西安710071
基 金：信息产业部微电子技术项目(41308050116)
年 份：2003
卷 号：22
期 号：3
起止页码：60-64
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、核心刊
摘 要：微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。
关 键 词：三维微细加工 LIGA技术 准LIGA技术
分 类 号：TN405]
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